CATS?是用于光掩模制造數(shù)據(jù)處理的全套解決方案.幾乎在世界上每一處光掩模制造生產(chǎn)廠商都得以采用，實(shí)際已經(jīng)成為掩模制造數(shù)據(jù)處理的標(biāo)準(zhǔn)。CATS作 為一項(xiàng)功能強(qiáng)大而靈活的軟件包，具有可擴(kuò)展的分布式多機(jī)并行處理能力，配備直觀及先進(jìn)的圖形軟件包，品質(zhì)可靠，支持所有的頂尖掩模制造形式。

主要優(yōu)點(diǎn)：

• 提供半導(dǎo)體光掩模制造領(lǐng)域最為先進(jìn)和功能全面的數(shù)據(jù)處理軟件。其應(yīng)用范圍包括檢驗(yàn)、測量和晶圓直接寫入

• 同類產(chǎn)品中功能最為強(qiáng)大和靈活的軟件包

• 支持設(shè)計數(shù)據(jù)的結(jié)構(gòu)層次處理，具備與每種引擎格式極好的兼容性

• 可擴(kuò)展的分布式多機(jī)處理功能將光學(xué)近似糾正(OPC)數(shù)據(jù)切割成若干部分并行處理，從而縮短了數(shù)據(jù)處理時間

• 將生產(chǎn)制造時間減少到最短，最大程度地提高了當(dāng)今高端掩模的品質(zhì)

• 為當(dāng)今最為嚴(yán)峻的制造挑戰(zhàn)提供尖端的解決方案