(高速版圖設(shè)計(jì)可視化和光刻分析)

概述

IC WorkBench（ICWB）是一款功能強(qiáng)大的層次化版圖設(shè)計(jì)可視化和分析工具，具有GDSII/OASIS查看、版圖編輯、以及高速光刻仿真和分析功能。IC WorkBench設(shè)計(jì)可用于解決各種光刻應(yīng)用程序，包括掩膜綜合流程開(kāi)發(fā)、OPC模型開(kāi)發(fā)及校準(zhǔn)、光刻驗(yàn)證錯(cuò)誤分析、設(shè)計(jì)規(guī)則創(chuàng)建和確認(rèn)、關(guān)鍵單元的良品率和可制版性優(yōu)化，以及新流程開(kāi)發(fā)。
IC WorkBench提供了在各種參數(shù)及流程條件下的硅片成像特性的相關(guān)定性和定量信息。

先進(jìn)的可用性特色

IC WorkBench采用了最新的用戶接口技術(shù)。這些技術(shù)設(shè)計(jì)用于讓各項(xiàng)強(qiáng)大的ICWB功能更加易于使用，也更加直觀。這些關(guān)鍵特色包括：

• 支持用戶和工作地點(diǎn)級(jí)定制

• 視圖管理器

• 對(duì)所有對(duì)象的層次化文件夾表示方式，包括版圖、量規(guī)、輪廓、空間像以及模型

• 環(huán)境自適應(yīng)的氣泡式在線幫助

• 類(lèi)似于瀏覽器的向前和向后查看歷史記錄

• 撤消操作和重復(fù)操作

• 可提供豐富的環(huán)境點(diǎn)擊信息，例如來(lái)自單元或多邊形的層次信息

• 采用高速緩存文件快速載入GDSII

• 為絕大多數(shù)命令提供了可由用戶配置的熱鍵

• 可由用戶定制的工具欄

• 用于運(yùn)行用戶創(chuàng)建宏的定制按鈕

a. 更快、更強(qiáng)的察看和編輯功能

ICWB在高速GDSII/OASIS查看和編輯工具的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)而來(lái)，能夠處理好各種先進(jìn)制程世代下愈來(lái)愈龐大的文件體積。ICWB可在幾分鐘內(nèi)載入數(shù)以千兆字節(jié)計(jì)的數(shù)據(jù)，同時(shí)，工作于64位平臺(tái)上的ICWB對(duì)操作的文件不限制大小。

b. 功能強(qiáng)大的標(biāo)準(zhǔn)Tcl/Tk腳本化命令語(yǔ)言

ICWB的命令和函數(shù)均采用應(yīng)用廣泛的標(biāo)準(zhǔn)Tcl腳本化語(yǔ)言進(jìn)行構(gòu)建。

此外，為給資深設(shè)計(jì)用戶提供支持，該命令語(yǔ)言可以通過(guò)Socket接口進(jìn)行調(diào)用。這個(gè)Socket接口可以與其它工具之間實(shí)現(xiàn)類(lèi)似于API的連接功能，可用于開(kāi)發(fā)更為高級(jí)的定制應(yīng)用程序和流程。

c. 精確的可編程光刻仿真功能

ICWB能夠讀取各種業(yè)界領(lǐng)先的高度精確的Progen模型文件，確保了實(shí)現(xiàn)精確而快速的仿真。Progen模型是在全體Synopsys DFM工具套件內(nèi)廣泛運(yùn)用的標(biāo)準(zhǔn)Synopsys光刻仿真模型，能夠確保在整個(gè)DFM流程內(nèi)實(shí)現(xiàn)出色的關(guān)聯(lián)度和仿真閉合。

d. 用于掩膜綜合和光刻驗(yàn)證的通用分析工具

IC WorkBench可作為Synopsys DFM工具套件通用的集中化交互式分析工具。

e. 掩膜綜合流程開(kāi)發(fā)

IC WorkBench提供了掩膜綜合流程和模型在開(kāi)發(fā)、認(rèn)證以及生產(chǎn)運(yùn)行中所需要的各種關(guān)鍵功能。IC WorkBench能夠直接連接Proteus Recipe Debugger并同步運(yùn)行，提供了強(qiáng)大的交互式程序調(diào)試能力。

f. 經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證過(guò)的技術(shù)

自180納米技術(shù)開(kāi)始，到先進(jìn)的45納米技術(shù)以及更高端的制程世代，ICWB得到了全世界各大半導(dǎo)體制造商廣泛的生產(chǎn)驗(yàn)證。