Proteus?是一套全面且功能強(qiáng)大的設(shè)計(jì)環(huán)境，用于建立修正用模型、執(zhí)行全芯片的光學(xué)近似修正、分析已修正和未修正集成電路布局的近似效應(yīng)。其內(nèi)置的 高級(jí)可編程性和靈活性，能夠確保其與設(shè)計(jì)人員的工藝目標(biāo)和約束條件達(dá)到最佳匹配程度。Proteus的核心修正處理引擎結(jié)合了高效的層次化管理器和特有的 高速仿真算法。Proteus通常在多臺(tái)計(jì)算機(jī)之間對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行高效的并行處理，以獲得可靠、精確的全芯片修正和緊湊的輸出文件，縮短了設(shè)計(jì)生產(chǎn)周期。 Progen是一個(gè)先進(jìn)的光刻模型開(kāi)發(fā)工具，用戶可以用它創(chuàng)建任意類型的光刻模型，以及將這些模型與實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行良好的匹配，其輸出結(jié)果是供 Proteus修正引擎使用的緊湊高效的模型。Prospector是一個(gè)互動(dòng)性的可視化和分析工具，能夠在模型以及集成電路布局之間實(shí)現(xiàn)互動(dòng)的觀察、測(cè) 量、比較和輸出以供其它工具使用。

主要優(yōu)點(diǎn)：

• 提高良率，通過(guò)修正設(shè)計(jì)圖形的幾何形狀提高光刻圖形的準(zhǔn)確性，從而使設(shè)計(jì)向超深亞微米級(jí)的繼續(xù)推進(jìn)。

• 高可編程性確保了Proteus能夠被應(yīng)用于任何類型的光學(xué)近似效應(yīng)以及其它由于光阻、蝕刻和基片表面圖形影響所導(dǎo)致的圖形扭曲現(xiàn)象。

• 支持分布式網(wǎng)絡(luò)處理，縮短了設(shè)計(jì)生產(chǎn)周期。通過(guò)將任務(wù)分配到多個(gè)平臺(tái)上，可以大幅縮短設(shè)計(jì)周期。

• 在超過(guò)1,000個(gè)處理器中表現(xiàn)出出色的并行處理的可擴(kuò)展性

• 為各種工程掩模技術(shù)提供強(qiáng)大的支持