(PrimeYield套裝工具)

集成經(jīng)生產(chǎn)驗證的設(shè)計和制造技術(shù)，縮短從設(shè)計到量產(chǎn)的周期。
Integration of Production-Proven Design and Manufacturing Technology Accelerates Time to Entitled Yield

概述

PrimeYield是一套綜合性的設(shè)計良率（design-yield）分析套裝工具。PrimeYield針對65nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)，將設(shè)計與制造結(jié)合了起來，通過為上游設(shè)計實施工具提供自動糾正指導(dǎo)，對那些會威脅良品率的設(shè)計誘發(fā)機(jī)制進(jìn)行精確預(yù)測。

目標(biāo)用戶

布局和實體設(shè)計人員

縮短設(shè)計人員的設(shè)計實有回報周期

PrimeYield提供了：

• 以經(jīng)生產(chǎn)驗證制造數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)的糾正分析

• 對上游實施工具的關(guān)聯(lián)自動化指導(dǎo)

• 對所有重要的良品率損失機(jī)制完全建模

經(jīng)生產(chǎn)驗證的精確度

PrimeYield套裝工具以領(lǐng)先代工廠和集成器件制造商（IDM）所采用的經(jīng)生產(chǎn)驗證的技術(shù)和制造模塊為基礎(chǔ)。PrimeYield所擁有的精確度可讓設(shè)計人員將精力集中到真正有潛力的解決方法上，避免在虛假錯誤上花費(fèi)過多精力。

預(yù)測和糾正良品率問題

PrimeYield增強(qiáng)了設(shè)計人員的能力，為他們提供了一個能夠在出光罩之前預(yù)測和糾正良品率致命問題的工具，從而防止了此類問題影響關(guān)鍵制程，進(jìn)而影響產(chǎn)品的良品率。PrimeYield在先進(jìn)65nm設(shè)計方案的可制造性方面賦予設(shè)計者更好的控制能力。如此一來，制造商就能夠改進(jìn)制程并最大程度的減少良品率損失。在這種情況下，該設(shè)計方案可以更快的達(dá)到量產(chǎn)的良品率要求，從而縮短進(jìn)入市場的時間。

關(guān)鍵良品率問題的全面解決方案

在65nm及以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)，良品率對于一些系統(tǒng)性問題具有很高的敏感度，例如，光蝕刻錯誤、CMP（化學(xué)機(jī)械研磨）。為了解決這些關(guān)鍵性良品率問題，PrimeYield套裝工具包含了下列模塊：

• 光蝕刻合格性校驗（LCC）模塊能夠標(biāo)出可能的光蝕刻錯誤和制程變動效應(yīng)，在設(shè)計流程的早期提供給設(shè)計人員, 從而為設(shè)計人員節(jié)省數(shù)周的時間。

• 基于模型的CMP能夠找到并分析不平整的金屬填充處，而這種不平整是導(dǎo)致先進(jìn)芯片設(shè)計發(fā)生系統(tǒng)性錯誤的主要來源。設(shè)計人員可以避免額外的寄生效應(yīng)（例如寄生電容等）。